Исследован процесс возникновения лазерно-индуцированной столбчатой структуры на поверхности c-Si и шс^ под действием наносекундных импульсов Nd:YAG-лазера (532 нм) в атмосфере диоксида углерода и в вакууме. Получены образцы текстурированных пластин шс^ размером 20x20 мм с типичной столбчатой структурой (аспектное отношение > 3) и полным отражением менее 3 %.